搜索
.jpg "7c3e471b-0c48-417b-909f-abe72afe68fc(8).jpg")
晶圆真空传输平台—VTM
晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计，可以实现多个工艺室的互联，系统可选配机械臂和校准装置，可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。
晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计，可以实现多个工艺室的互联，系统可选配机械臂和校准装置，可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。
性能参数
晶圆尺寸 | 8或12吋 |
| 极限真空 | 优于5×10-7mbar |
| 前端模块 | 可选EFEM等 |
| 对接口 | 四个，六个，八个（可实现多套互联） |
| 机械臂 | 可选单臂和双臂，定位精度±0.1mm |
| 校准装置 | 对准器，校准传感器 |
| 真空系统 | 机械泵+分子泵，可选离子泵等 |
| 控制系统 | PC+PLC 安全互锁，碰撞保护,真空互锁等 |
| 标准 | SEMI |
