防逆压阀功能（关闭时间<0.2 sec）-Pump Trip&断电时Wafer保护
直观油路型反压断路Valve-改进现有Check Type反压断路阀的电导（直观型油路）
垂直开闭式阀-防止密封面刮伤或损坏
使用工艺-CVD，E T C H，DIFFUSION等POWDER及腐蚀工艺（300mm，450mm process，LCD line）
小型设计，重量轻，易于安装和使用。
大量POWDER生成工艺中采用VALVE HEATING进行POWDER预防。
遮断部的移动是旋转型的，其移动距离很短
从阀打开到阀关闭的断路器移动距离很短
阀门开断时，由于缸体转轴移动短，最小化了对转轴转子的冲击，噪音和冲击小，耐久性好
在向防喘振环下部移动时，在向下部完全下降之前形成遮挡部的移动悬移距离短（增加遮挡速度）
断路器移动后，由于反压的压力差会造成断路，因此Valve断路的步骤会缩短，从而增加断路速度。